A. 개요

순수, 초순수란 1차 처리된 원수(Feed Water)를 이온교환수지, R/O(Reverse Osmosis)막, 살균 등의 고도정수처리방법으로 수중의 무기염류, 유기물, 미생물, 용존가스 등을 제거한 거의 순수한 물을 말하며, 탈이온수, DIW (De-ionized Water), UPW (Ultra Pure Water) 또는 "아무 것도 없다"란 의미에서 Blank Water란 용어를 사용하기도 한다.

순수와 초순수는 이온 제거정도에 따라 구분되며, 비저항(Specific Resistivity; MΩ)을 측정하여 높을수록 초순수라 하며, 일반적인 의약품 제조산업, 반도체, LCD 등 전자 산업, 실험실용 세정액 및 용매 제조 등에 이용되고 있다.